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DMASS伺服液壓站正式進軍半導體領域!

2023-7-26 11:55:05??????點擊:

在半導體封裝設備領域,DMASS和中科院通過技術合作,安全替代了奧地利EVG公司的氣液結合系統,在光刻納米壓沖技術領域里(N12)實現了技術上的突破和超越。為半導體芯片的制造提供均勻壓力的同時并將位移最高精度控制在0.75μm,保證了芯片可以發揮更好的性能和更優的能耗,同時將液壓動力系統的噪音降至最低55dB(A) 。

技術參數:

伺服電機功率(KW) 系統工作流量(L/MIN) 系統工作壓力(bar) 油箱容積(L)
4.5~15 4~15 150~210 50~120

    北京某公司定制DMASS伺服液壓站:DHPU-10-S-V-46


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